Микрозагрязнения в чистых помещениях: путь к решению проблемы
Когда речь идет о чистоте помещений, в первую очередь мы обращаем внимание на мусор и пыль. Однако мир чистых помещений, особенно в контексте космической и микроэлектронной промышленности, более сложен, чем может показаться на первый взгляд.
Источники микрозагрязнений
Микрозагрязнения - это мельчайшие частицы, которые могут содержать как органические, так и неорганические вещества. Источниками микрозагрязнений в чистых помещениях являются:
- Человек: Согласно данным, около 70-80% микрозагрязнений в чистых помещениях обусловлены человеческой деятельностью. Частицы, отделяющиеся от человеческой кожи, постоянно находятся в воздухе и могут создавать проблемы для чувствительного оборудования и технологических процессов.
- Оборудование и Процессы: Процессы и оборудование внутри чистых помещений могут также выделять микрозагрязнения. В микроэлектронике, например, на технологический процесс приходится примерно 25% микрозагрязнений.
- Окружающая Среда: Окружающая среда, включая внешний воздух и посторонние источники, может добавлять микрозагрязнения в чистые помещения. Это может быть химикатами, газами и даже самим воздухом.